自動顯微薄膜厚度測量儀

ZK-SM280是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的顯微薄膜厚度測繪儀。它利用波長范圍最寬為200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，ZK-SM280就能根據反射回來的干涉光譜擬合計算出薄膜的厚度，其厚度最大測繪范圍可以達到10nm~100um，ZK-SM280配備專用顯微鏡系統，最小可支持10um大小的微小樣品測試，軟件具備模板匹配和自動對焦功能，并支持測量點位路徑繪制及支持以2D/3D方式呈現測量結果。
ZK-SM280自動顯微薄膜厚度測繪儀采用一體化設計，核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀、高性能工業CCD和高精度的3軸移動平臺，結合中科正奇獨有的算法技術，為用戶提供的全新一代領先的自動顯微薄膜厚度測繪儀。

l 最大波段范圍：200nm~1000nm、400nm~1000nm或900nm~1400nm；
l 非接觸式、非波壞行的系統檢測系統；
l 超長壽命光源，高效的發光效率；
l 高分辨率、高靈敏度光譜儀，測量結果更準確可靠
l 軟件界面直觀，操作方便高效；
l 配備吸納為物鏡，支持檢測小尺寸樣品；
l 測繪速度快，支持多點測繪點位地圖繪制；
l 支持繪制2D/3D厚度分布圖；
l 高精度、長壽命的3軸旋轉平臺；
l 歷史數據存儲功能，處理數據更加方便快捷；
l 桌面式設計，使用場景豐富
維護成本低，保養方便。

		ZK-SM280UV	ZK-SM280	ZK-SM280-EXR
光學參數
光譜范圍		200~1000 nm	400~1000nm	900~1400nm
光源		氘鹵組合燈	鎢鹵素燈
厚度測量范圍	5X物鏡	/	20nm~40um	20nm~100um
	10X物鏡	/	20nm~30um	20nm~70um
	20X物鏡	10nm~30um	20nm~40um	20nm~80um
	50X物鏡		20nm~1um	20nm~2um
準確度		±2nm或0.2%
入射角		90°
膜厚層數		1~3層
樣品材料		透明或半透薄膜
測量模式		單點測試/多點測試/自動測試
光    斑    尺    寸	物鏡	標準500um孔徑
	5X物鏡	100um
	10X物鏡	50um
	20X物鏡	30um
	50X物鏡	10um
樣品尺寸		直徑從警1mm~30mm，或更大
電氣參數
操作系統		Windows10/11
指示燈		氘燈指示、鹵燈指示	鹵燈指示
按鈕		電源按鈕、氘燈、鹵燈	電源按鈕、鹵燈開關
外部接口		電源插座、USB2.0、光纖輸入口、光纖輸出口
掃描平臺		旋轉+X軸移動+Z軸移動
可移動行程		150mm*360°
材質		鋁合金
供電電源		DC 24V
存儲溫度		~20°C ～ +65°C
操作溫度		0 ～ 45 oC
工作濕度		< 90%RH
物理參數
尺寸		520×450×400 mm
重量		28kg